横山研究室top -> 研究室の装置紹介 -> 卓上小型プローブ顕微鏡

走査型プローブ顕微鏡の一つで、試料と探針間に働く力を利用して、試料表面の凹凸をナノメートル(nm)レベルで、高分解能で観察、表示する装置です。 　従来のAFMでは、表面の凹凸によってカンチレバー(針)がたわむ様子を「光てこ検出系（AFMの説明を参照）」といって、レーザ光の反射によって検出していましたが、この装置はカンチレバーの中に抵抗体センサーを組み込むことで、カンチレバーのたわみが抵抗変化として検出される方法を使っています。このことで、従来のAFMと比べ装置が小型になり、操作方法も簡便となっています。また、AFMに比べて広い範囲(最大スキャン範囲：1mm）の観察ができます。
マイクロレンズ(注1)
ポリシランの紫外光分解とゾルゲル法を組み合わせた方法(注2)により作製した凸状マイクロレンズを測定したもの。任意の断面形状も測定でき、このような非常に小さなレンズの曲面の様子を知る事ができます。 注１：微小なレンズで、単一ではCDのピックアップ用、また２次元に配列してスキャナーの読み取り部分や、CCDカメラの受像光学系などに組み込まれています。 注２：ポリシランというプラスチックフィルムに紫外線を照射すると、その部分だけ水に濡れやすくなります。これを、乾燥すると硬い「ゲル」という物質になる「ゾル」という水溶液に浸す事で、紫外線が照射された部分に「ゲル」を形成させる方法です。