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薄膜の、屈折率、膜厚を測定することができます。　 　試料にレーザー光を照射し、薄膜の表面で反射した光と、膜の裏面で反射してきた光の干渉によって生じる偏向状態の変化から、膜厚、屈折率を測定することができます。 　光を当てるだけなので、非破壊、非接触で測定できるという利点と、オングストロームオーダーの膜厚評価が可能であることから、シリコンの酸化膜厚の評価などに用いられています。
ポリシランの紫外光分解パターンの評価
シリコンが鎖状につながったポリマーである、ポリシランは、紫外光を照射することによってシリコン間の結合が切れ、屈折率が変化することが知られています。 　エリプソメトリーを使って、レーザーの照射位置をずらしながら測定することにより、照射部分だけで屈折率が変化している様子を観察することができます。 　当研究室では、このような特性を応用した、位相差マスクの開発を行っています。